Stopper AR 600-60

Zum Abstoppen von E-Beam-Resist-Schichten nach der Entwicklung mit Lösemitteln

Produktinformation

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Charakterisierung

sofortiges Unterbrechen der Entwicklung
hochreine Lösemittelgemische zur rückstandsfreien Entfernung der Entwicklerreste
Durch einen 10-20 %igen Zusatz des Stoppers AR 600-60 in die Entwickler AR 600-50, 600-55 und 600-56 kann eine Verlangsamung des Entwicklungsprozesses erreicht werden

Interessante Beiträge im Resist-Wiki

Eigenschaften

Dichte bei 20 °C
0,785 g/cm³
Wassergehalt (max.)
0,1 %
Flammpunkt
12 °C
Filtrationsgrad
0,2 µm
Lagerung bis 6 Monate
10-22 °C

Verfügbare Bestellgrößen

1 x 2.500 ml
4 x 2.500 ml
8 x 2.500 ml

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