Der Proximity-Effekt basiert im Wesentlichen auf der Streuung von Elektronen im Substrat und auch im Resistmaterial aufgrund der elektrischen Wechselwirkung zwischen den Elektronen und führt zu einer Vergrößerung der geschriebenen Strukturen, da angrenzende Bereiche mit bestrahlt werden, entsprechend kommt es auch zu einer Verringerung des Kontrastes. Die Herstellung sehr kleiner und insbesondere dicht gepackter Strukturen ist daher sehr schwer zu kontrollieren. Durch eine zuvor berechnete Korrektur der Belichtungsfunktion kann die Dosisverteilung optimiert und der Effekt entsprechend verringert werden (Proximity-Korrektur).
