Resist des Monat April 2019: Phoenix 81 – Mix & Match mit der Thermal Scanning Probe Lithography (t-SPL) und dem Laser-Direktschreiben im NanoFrazor

Allresist hat Phoenix 81 (AR-P 8100) in einem Eurostar-Projekt zusammen mit der Swisslitho AG und anderen Partnern entwickelt. Swisslitho hat jetzt den NanoFrazor mit einem Laser-Direktschreiber ergänzt (siehe Abb. 1). Nunmehr ist es möglich, komplizierte Strukturen wie z.B. Single-Elektronen-Transistoren (SET) kostengünstig herzustellen. Die SET bestehen aus sehr kleinen Strukturen von wenigen Nanometern und relativ großen Details mit einigen 10 µm (siehe Abb. 2).

Die Nanometer-Strukturen werden mit dem NanoFrazor geschrieben, die großen Flächen mit dem Laser freigelegt. Durch Einsatz des Lasers verkürzt sich die Schreibzeit um ein Vielfaches. Phoenix 81 wurde so optimiert, dass nicht nur die heiße NanoFrazor-Nadel, sondern auch Laserlicht die Resistschicht entfernen kann.

Abb. 1 NanoFrazor ergänzt mit einem Laser-Gerät

Abb. 2 Herstellung eines SET

Damit erweitern sich die Anwendungsmöglichkeiten des Phoenix 81. Mittlerweile gibt es Anfragen von Kunden nach größeren Mengen, dort wird der NanoFrazor schon für die serienmäßige Fertigung von elektronischen Bauteilen genutzt. Wir haben unsere Synthesemöglichkeiten auf diesen erhöhten Bedarf eingestellt.

Das war für uns Grund genug, Phoenix 81 zum Resist des Monats April zu küren.

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