Zahlreiche Anwendungen erfordern strukturierte Resistarchitekturen, die durch eine nachträgliche Härtung gegenüber organischen Lösungsmitteln langzeitstabil werden. Die novolakbasierten Lacke zeigen nach Härten bei Temperaturen >150°C, im Fall der CAR-Resists zusätzlich unterstützt durch eine intensive Flutbelichtung, eine ausgeprägte Stabilisierung gegenüber organischen Lösungsmitteln, wie z.B. Toluol, Aceton, IPA, PMA oder NEP, über mehrere Stunden stabil.
Am Beispiel von AR-P 7400.23 konnte nun explizit gezeigt werden, dass eine ausreichende Stabilisierung gegenüber Toluol bereits durch intensive Flutbelichtung und anschließendem hard bake bei 110°C möglich ist, während für eine Stabilisierung gegenüber Ethanol neben der Flutbelichtung ein hard bake bei 150°C erforderlich ist. Die Stabilisierung ist dabei so stark ausgeprägt, dass die Strukturen auch in Ethanol, für mehrere Stunden stabil sind.