Die Schichten und die Strukturen der E-Beam-Polymere haben eine unterschiedliche Temperatur Beständigkeit. Dabei sind die PMMA-Schichten am stabilsten. Bei Temperaturen bis 260 °C bleiben die Strukturen erhalten, es treten nur Verrundungen der Lackkanten auf. Die Resistschicht wird dabei lediglich etwas dunkler. Das Copolymer des AR-P 617 beginnt sich schon bei 240 °C deutlich zu verfärben, die Schicht und die Strukturen bekommen Fehlstellen. Das CSAR-Polymer wird schon bei 200 °C angegriffen, von einer höheren Temperung wird abgeraten. Alle drei Polymere lassen sich nach der maximalen Temperung noch entfernen.
Die Novolak-Schichten der E-Beamresists sind bis 300 °C prinzipiell beständig, jedoch können die Strukturen schichtdickenabhängig verrunden und bei höheren Schichten > 2 µm verfließen. Davon sind vor allem die Positiv-E-Beamresists (AR-P 7400) betroffen, die Negativ-E-Beamresists sind deutlich stabileer. Ein Removing ist nach der Maximaltemperung jedoch praktisch unmöglich. Lediglich ein Plasmaätzschritt kann helfen, die Schicht zu entfernen.