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1. Wie ist ein E-Beam Resist aufgebaut und wie funktioniert er?

E-Beam Resists (Elektronenstrahlresists) sind für Elektronenstrahl- und Tief-UV-Anwendungen zur Herstellung von höchstintegrierte Strukturen, hauptsächlich für die Maskenfertigung konzipiert.

https://www.allresist.de/wp-content/uploads/2017/03/logo_allresist.png 0 0 AllAdmin https://www.allresist.de/wp-content/uploads/2017/03/logo_allresist.png AllAdmin2008-08-23 06:32:472019-10-10 08:40:211. Wie ist ein E-Beam Resist aufgebaut und wie funktioniert er?

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