Produkte E-Beam Resists

Die Allresist-Produktpalette der E-Beam Resists ist sehr umfangreich. Um Ihnen einen kleinen Überblick zu verschaffen sehen Sie weiter unten eine Auswahl. Bei weiterem Interesse wenden Sie sich einfach direkt an uns.

ResistEigenschaften
AR-PC 5090 - 5091 (Electra 92)Leitfähiger Protective Coating für nichtnovolakbasierte E-Beamresists
AR-P 610Copolymer PMMA/MA 33%, positiv
AR-P 630 … 670PMMA in den Lösemitteln Chlorbenzen, Anisol und Ethyllactat
50K, 200K, 600K, 950K, positiv
AR-P 6200 (CSAR 62)Kontrastreiche E-Bemresists für die Herstellung integrierter Schaltkreise und Masken
AR-P 6500LIGA-PMMA-Resist bis 250 µm, positiv
AR-P 7400Ätzresistent, mix&match, i-/g-line, positiv
AR-N 7500, 7520Ätzresistent, hochauflösend, negativdto., zusätzlich für mix&match, i-line
AR-N 7700, 7720Chemisch verstärkt, steile Gradation, negativ chemisch verstärkt,
flache Gradation, negativ