Electra 92 am Markt etabliert – AR-PC 5092.02

Im Oktober 2022 haben wir den neu entwickelten Electra 92 AR-PC 5092.02 zum Resist des Monats gekürt. Der leitfähige Resist besteht nur noch aus Polyanilin, verschiedenen Tensiden und Wasser und enthält kein Isopropanol mehr. Durch diesen umweltfreundlichen Ansatz ist es gelungen, die Lebensdauer des Electra 92 Resists deutlich zu verlängern. Außerdem kann der Resist auf unterschiedlichen E-Beamresists beschichtet werden, auch auf solchen, die nicht von Allresist angeboten werden.

Am AMOLF (Akademisches Institut für fundamentale Physik, Amsterdam) wurde Electra 92 auf HSQ beschichtet, welches auf eine 40 nm dicke SiO2-Schicht eines Siliziumwafers aufgebracht war. Aufgrund seiner stark hydrophoben Oberfläche ist HSQ besonders anspruchsvoll. Für diese Aufgabe war eine speziell angepasste Variante des Electra 92 erforderlich. Das Beschichtungsverhalten war ausgezeichnet und es ergaben sich geschlossene, ebene Flächen. Anschließend konnte der HSQ gut prozessiert werden. In dem abgebildeten Siemensstern (Abb. 1) wurde eine Linienbreite von bis zu 22 nm erreicht.

Abb. 1: Mittels AR-PC 5092.02 erzeugte bis zu 22 nm breite Linien des Siemenssterns auf HSQ. © Bob Drent, AMOLF NanoLab Amsterdam

Das Ergebnis ist besonders interessant, da wir mittlerweile einen identischen HSQ E-Beamresist (Medusa 84 AR-N 8400 SiH) in unser Produktportfolio aufgenommen haben, auf dem die Beschichtung mit Electra 92 ebenfalls perfekt funktioniert.

Der neue Electra 92 wurde von unseren Kunden im ersten Jahr sehr gut angenommen und es wurden über 200 Liter verkauft.

Dieser Erfolg hat uns dazu bewogen, Electra 92 zum Resist des Monats zu ernennen.