Resist-Wiki Prozesschemikalien Haftvermittler

Neuer AR 300-80 mit Kontaktwinkelmessung

Neben dem etablierten Haftvermittler AR 300-80 (basierend auf Diphenylsilandiol) können auch weitere siliziumhaltige Verbindungen eingesetzt werden, um hydrophile Oberflächen zu hydrophobisieren.
mehr lesen »

Haftfestigkeit des AR 300-80

Um ein oben beschriebenes Abziehen der PMMA-Schicht vom Wafer zu verhindern, wird der Einsatz eines Haftvermittlers empfohlen. Zusätzlich ist eine möglichst hohe Temperung der Wafer (wenn möglich > 200°C)
mehr lesen »

Haftvermittler HMDS und Diphenylsilandiol (AR 300-80)

Resists haften unterschiedlich gut auf verschiedenen Oberflächen. Viele Substrate wie, z.B. Silizium, Siliziumnitrid und Nichtedelmetalle (wie Aluminium, Kupfer) weisen im Allgemeinen eine gute Lackhaftung auf,
mehr lesen »

« Zurück zur Übersicht