Produkte E-Beam Resists
Die Allresist-Produktpalette der E-Beam Resists ist sehr umfangreich. Um Ihnen einen kleinen Überblick zu verschaffen sehen Sie weiter unten eine Auswahl. Bei weiterem Interesse wenden Sie sich einfach direkt an uns.
| Resist | Eigenschaften |
|---|---|
| AR-PC 5090 - 5091 (Electra 92) | Leitfähiger Protective Coating für nichtnovolakbasierte E-Beamresists |
| AR-P 610 | Copolymer PMMA/MA 33%, positiv |
| AR-P 630 … 670 | PMMA in den Lösemitteln Chlorbenzen, Anisol und Ethyllactat 50K, 200K, 600K, 950K, positiv |
| AR-P 6200 (CSAR 62) | Kontrastreiche E-Bemresists für die Herstellung integrierter Schaltkreise und Masken |
| AR-P 6500 | LIGA-PMMA-Resist bis 250 µm, positiv |
| AR-P 7400 | Ätzresistent, mix&match, i-/g-line, positiv |
| AR-N 7500, 7520 | Ätzresistent, hochauflösend, negativdto., zusätzlich für mix&match, i-line |
| AR-N 7700, 7720 | Chemisch verstärkt, steile Gradation, negativ chemisch verstärkt, flache Gradation, negativ |
| AR-P 8100 (Phoenix 81) | Thermisch strukturierbarer Positiv Resist, Thermal Resists, NanoFrazor |
