30. Ausgabe der AR NEWS
April 2015
Willkommen zur 30. Ausgabe der AR NEWS. Wir möchten Sie auch künftig gern über die Weiterentwicklung unseres Unternehmens und seiner Forschungsprojekte informieren.
Inhaltsverzeichnis
- 1. Investition in die Sonne – Errichtung einer Photovoltaikanlage auf Allresist-Dach
2. Hochempfindlicher Negativresist für die Laser-Direktbelichtung
3. PPA-Litho-Projekt: Resists für neue Lithographie-Anwendungen
4. Weitere CSAR 62-Anwendungen – hoch präzise Rechteckstrukturen
5. Neue Ergebnisse mit Electra 92
