In Fortführung der Arbeiten, die auf dem GMM-Workshop in Karlsruhe vorgestellt wurden, konnten die neusten Ergebnisse in einem Poster auf der HARMST 2007 in Besancon präsentiert werden. Der Titel lautete: <strong>
“Herstellung einer hochpräzisen Röntgenmaske in einem zweistufigen Verfahren mittels des Resists CAR 44″</strong>.
In einem Zwei-Stufen-Prozess wird zuerst mittels UV-Lithographie eine 7-µm-dicke Resistmaske erzeugt. Die anschließende Goldgalvanik stellt die Röntgen-Master-Maske fertig. In einem zweiten Schritt wird diese Struktur mit der Master-Maske durch Synchrotron-Strahlung in eine 30-µm-dicke CAR-44-Schicht übertragen. Die Arbeitsmaske wird durch eine Goldgalvanik und das folgende Removing fertig gestellt. Die so hergestellten Röntgenmasken sind von exzellenter Strukturgüte.
<a href=”https://www.allresist.de/wp-content/uploads/2014/02/postersession03a.jpg”><img class=”alignnone wp-image-3285″ style=”border: 1px solid black;” alt=”Poster HARMST” src=”https://www.allresist.de/wp-content/uploads/2014/02/postersession03a.jpg” width=”346″ height=”230″ /><a href=”https://www.allresist.de/wp-content/uploads/2014/02/poster-harmstklein.jpg”><img class=”alignnone size-large wp-image-3284″ style=”border: 1px solid black;” alt=”Poster-HARMSTklein” src=”https://www.allresist.de/wp-content/uploads/2014/02/poster-harmstklein-286×400.jpg” width=”286″ height=”400″ /></a></a>