Resists für den Wellenlängenbereichvon 488 nm

Mit dem X AR-P 350/5 kann bei der Wellenlänge von 488 nm gearbeitet werden. Die Empfindlichkeit des Resists beträgt dabei ca. 2 J/cm². Für die gewünschten Anwendungen (holographische Gitter bzw. Laserbelichtungen mit 488 nm) reicht diese Empfindlichkeit bei einer Verwendung eines optimierten Entwicklers aus.

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