Neuer, umweltfreundlicher Entwickler für PMMA-Resists
AR 600-57
April 2022
Ausnahmsweise stellen wir heute in der Rubrik „Resist des Monats“ einen neuen PMMA-Enwickler vor, dessen potentielle Möglichkeiten auch unsere Anwender begeistern werden. Dieser Entwickler ist eine Mischung aus Isopropanol und Wasser – das mag zunächst erstaunlich klingen, da beide Komponenten einzeln eine PMMA-Schicht nicht angreifen. Es gibt jedoch ein Optimum des Mischungsverhältnisses, bei dem die benötigte Bestrahlungsdosis für PMMA annähernd der Dosis der konventionellen Entwickler AR 600-55 und AR 600-56 (MIBK/IPA) entspricht. Durch die schonende Entwicklung (kein Quellen) erreicht man in der Regel zusätzlich ein größeres Prozessfenster.
Diese Untersuchungen tragen auch dem Fakt Rechnung, dass MIBK ab Jahresende 2022 als Gefahrstoff eingestuft wird. Mit der neuen Rezeptur bieten wir in Zukunft einen gesundheitlich unbedenklichen Entwickler an, der auch deutlich ökologischer ist.
Die technologischen und umweltfreundlichen Aspekte des neuen Entwicklers AR 600-57 haben uns veranlasst, ihn zum „Resist“ des Monats zu wählen.
PMMA-Zweilagen-System entwickelt mit dem AR 600-57