Wässrig basische Entwickler unterliegen einer Alterung durch CO2-Aufnahme aus der Luft. Die gepufferten wässrig alkalischen Entwickler (AR 300-26, -35) sind dabei stabiler als die TMAH-haltigen Entwickler der Serie AR 300-40. Innerhalb der Serie sind die mit der geringsten TMAH Konzentration am anfälligsten. Geöffnete Gebinde sollten nach der Entwicklerentnahme sofort luftdicht verschlossen und umgehend verbraucht werden. Die Herstellung von Entwicklerverdünnungen sollte unmittelbar vor Gebrauch erfolgen.
Bei den lösemittelhaltigen Entwicklern für E-Beam Resists kann häufiges Öffnen des Gebindes zur Verdunstung und damit zur Änderung der Zusammensetzung des Entwicklers führen. Ein verändertes Entwicklungsverhalten kann die Folge sein, deshalb sind auch diese Entwickler stets gut verschlossen aufzubewahren.
Prozesschemikalien Entwickler