Schutzlacke bestehen meist aus Novolaken oder PMMA-Polymeren. Der Schutz vor mechanischen Beschädigungen und die Beständigkeit gegenüber sauren Medien wird von beiden Polymeren ausreichend gewährleistet. PMMA-Resists (z.B. AR-PC 503 oder 504) gewähren auch einen sicheren Schutz gegenüber starken Laugen (bis 40 % ig), was Novolake nicht können. Die Stabilität gegenüber den meisten Lösemitteln ist bei beiden gering ausgeprägt, erst eine Temperung > 180 °C macht die Lacke hinlänglich stabil. Damit verbunden ist jedoch ein schweres Removing der gehärteten Resistschichten. Ein weiteres Handicap ist das Verspinnen des PMMA beim Beschichten, es entsteht eine Art Zuckerwatte beim Abschleudern.
Der SX AR-PC 5000/31 ist ein Hybridlack aus beiden Polymeren. Durch eine gezielte Temperung in dem Bereich von 120 – 170 °C kann die Beständigkeit gegenüber Laugen und Lösemitteln eingestellt werden. Nach einer solchen Temperung ist ein Removing noch möglich. Außerdem tritt das Verspinnen nicht mehr auf.
Photoresist Schutzlack