Electra 92-Variante AR-PC 5091.02, optimiert für Anwendungen auf Novolak-basierten Resists
– Negativ-CAR AR-N 7700 auf Glas
Novolak-basierte E-Beam Resists besitzen andere Oberflächeneigenschaften als z.B. die Lacke CSAR 62, PMMA oder HSQ. Durch einen höheren Lösemittel-Anteil des leitfähigen Resist, wie bei dem AR-PC 5090.02, werden diese Novolak-Lacke schon geringfügig angegriffen. Deshalb wurde der AR-PC 5091.02 konzipiert, der für die Beschichtung von E-Beam Resists wie AR-N 7520, AR-N 7700, AR-P 7400 bessere Beschichtungseigenschaften aufweist.
Abbildung: 60 – 150 nm Quader aus AR-N 7700.08 (100 nm hoch) auf Glas
In der Abbildung wurde der AR-N 7700.08 auf Glas aufgeschleudert, getrocknet, mit AR-PC 5091.02 beschichtet und bei 50 °C getrocknet. Nach der Bestrahlung wurde Electra 92 mit Wasser entfernt (2 x 15 Sekunden) und der E-Beamresist entwickelt. Es resultierte eine für einen chemisch verstärkten Resist sehr gute Auflösung bis zu etwa 60 nm. Allerdings erfordert diese hohe Auflösung eine sehr hohe Dosis (ca. 1.000 µC/cm²) und dann einen starken Entwickler (AR 300-26).
E-Beam Resist Andere Resists