Ohne Einsatz einer leitfähigen Beschichtung ist eine präzise Strukturierung auf Quarz nicht möglich. Die Raith GmbH hat untersucht, dass nach Beschichtung mit Electra 92 ein HSQ-Resist XR1541 auf einem Quarzsubstrat mit sehr guter Qualität strukturiert werden konnten. Nach Aussage der Raith GmbH war das bisher noch mit keinem anderen leitfähigen Lack gelungen. Der Resist XR1541 (20 nm dick) wurde mit der notwendigen Dosis von 4300 µC/cm² (Flächendosis) bestrahlt. Anschließend wurde der AR-PC 5090 innerhalb von 2 Minuten mit warmem Wasser vollständig entfernt, es konnten keine Rückstände beobachtet werden. Nach der Entwicklung des HSQ-Resists blieben die Strukturen mit den 20-nm-Stegen stehen (siehe Abb.).
Abb. 20 nm Stege des HSQ, präpariert auf Quarz mit dem Electra 92
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