Über die verschiedenen Anwendungsmöglichkeiten des Phoenix 81 (PPA) wurde im Resist-Wiki (siehe PPA-Resists) berichtet. Aufgrund ihrer leicht zu induzierenden thermischen Zersetzung (siehe Prinzip des NanoFrazor) waren auch die Resistlösungen in Anisol bisher nicht langzeitstabil. Um eine Lagerzeit von 6 Monaten zu erreichen, wurden Temperaturen von -18 °C empfohlen. Ließ man die Resists wie auch die trockenen Polymere bei Raumtemperatur stehen, begann die Zersetzung innerhalb weniger Tage. Somit war auch der Transport zum Anwender schwierig und kostenintensiv, innerhalb von Europa ist ein Transport in Trockeneis (-78,5 °C) für ca. 200 € realisierbar, per Luftfracht fallen dagegen erheblich höhere Kosten von weit über 1.000 € an.
In der Endphase des Projektes Eurostar PPA-Litho, das die Entwicklung des Phoenix 81 zum Ziel hatte, ist es uns durch die Optimierung der Synthese gelungen, weitaus stabilere PPA-Polymere herzustellen. Für die Evaluierung der Stabilität wurde PPA-(Pulver) -Proben in verschiedene Probengläschen abgefüllt, die dann für 4 Wochen unter unterschiedlichen Bedingungen, im Gefrierfach bei -18°C bzw. bei Raumtemperatur gelagert wurden. Als Referenzsystem dient dabei die empfohlene Lagertemperatur von -18°C. Weiterhin wurden ausgewählte PPA-Proben innerhalb eines Zeitraums von 1,5 bzw. 4 Wochen täglich für etwa 8 – 9 Stunden auf 35 – 36°C erwärmt. Mit den gelagerten PPA-Proben wurden anschließend jeweils 5,5%ige Lösungen in Anisol angesetzt und mit 2000rpm beschichtet. Nach dem Softbake (3 Minuten bei 95°C auf der Hotplate), erfolgte die Bestimmung der jeweiligen Schichtdicken am Profilometer.
Messung der Schichtdicke der PPA´s vor und nach der Temperung
Für alle Lagerproben wurden im Rahmen der Fehlergenauigkeit identische Schichtdicken gemessen. Auch bei höheren Temperaturen gelagerte Proben zeigen demnach, genauso wie optimal bei -18°C gelagertes PPA, keinerlei Anzeichen von Zersetzung. Das PPA-Pulver hat damit den „Stresstest“ bestanden und ein kostengünstigerer Versand ohne Kühlung ist problemlos möglich.
Die hohe Stabilität von PPA-Pulver und der wenig aufwendige Versand haben uns bewogen, in Zukunft Phoenix 81 grammweise als Feststoff anzubieten. Auf Wunsch liefern wir das Resistlösemittel (Anisol) und eine Filtrationsspitze innerhalb eines Sets mit.
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