Die ermittelte Leitfähigkeit der Schichten wird nicht nur von der Temperatur stark beeinflusst, sondern hängt auch direkt von der Luftfeuchtigkeit ab. Nach dem Softbake nehmen die fast wasserfreien Schichten bei Raumtemperatur allmählich Wasser aus der Umgebungsluft auf, da das Polymer schwach hygroskopisch ist. Dabei steigt der gemessene Widerstand deutlich an. Um einschätzen zu können, welche Leitfähigkeitseigenschaften Electra 92 unter den Bedingungen der E-Beam Lithographie besitzt, wurden von Herrn Riebe (Uni Potsdam) entsprechende Messungen im Hochvakuum durchgeführt. Dazu wurde Electra 92 auf Quarzplatten beschichtet (Schichtdicke ca. 190nm), der Polymerfilm mit Klemmen kontaktiert und die Messanordnung in eine Vakuumkammer überführt.
Messanordnung zur Bestimmung der Leitfähigkeit unter Vakuumbedingungen
Unter Atmosphärenbedingungen wurde ein Widerstand von > 21 MΩ gemessen, der direkt nach anlegen des Vakuums (2*10-3 Torr) rasch auf 16,6 MΩ absank und sich schließlich weiter auf etwa 12,7 MΩ (bei 2*10-4 Torr) verringerte. Nach dem Belüften stieg der gemessene Widerstand dann sehr schnell wieder auf 20 MΩ an.
Interessanterweise kommt es im Vakuum fast zu einer Verdopplung der gemessenen Leitfähigkeit (der Widerstand halbiert sich entsprechend). Unter diesen Bedingungen ist die leitfähige Schicht praktisch wasserfrei und zeigt daher eine bessere Leitfähigkeit.
Bei den E-Beam-Applikationen mit einem deutlich stärkeren Vakuum kann man daher von einer Leitfähigkeit von bis zu etwa 1 S/m ausgehen, was für die meisten Anwendungen völlig ausreichend ist.
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