Fluoreszenz ist die spontane Emission von Licht kurz nach der Anregung eines Materials durch elektronische Übergänge. Dabei ist das emittierte Licht in der Regel energieärmer als das vorher absorbierte.
Abbildung 1: Absorptions- und Emissionsspektrum
In der Abbildung 1 sieht man, dass die Fluoreszenz (Emission) langwelliger (energieärmer) ist als die Anregung durch die Absorption. Das zeigt sich bei den Resiststrukturen der neuen fluoreszierenden E-Beamresist sehr schön. Zur Herstellung der neuen Lacke wurden sowohl PMMA- als auch CSAR 62-Polymere in einem Lösemittelgemisch angesetzt, das auch die Fluoreszenz-Farbstoffe in einem ausreichenden Maße löste. Diese Resists wurden dann bei der Präzisionsoptik Gera GmbH mittels Elektronenstrahl-Lithographie bestrahlt und entwickelt. Die Strukturen ließen sich in einem hierfür optimierten Entwickler rückstandsfrei erzeugen. Werden sie, wie auf den beiden Bildern gezeigt, mit einem UV-Licht angeregt, beginnen sie stark zu leuchten.
Abbildung 2: Fluoreszierende PMMA-Strukturen gelb-grün
Abbildung 3: Fluoreszierende PMMA-Strukturen rot
Aufgrund der Eigenschaften dieser E-Beamresists sind Auflösungen bis in den Bereich von 10 – 20 nm möglich. Der Schwerpunkt der Anwendungen liegt in der optischen Industrie, so werden z.B. diese Materialien für Nachtsichtgeräte benötigt.
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