Die Empfindlichkeit des CSAR 62 kann durch die Wahl des Entwicklers sehr stark beeinflusst werden. Im Vergleich zum Standard-Entwickler AR 600-546 kann die Empfindlichkeit bei der Verwendung des AR 600-548 fast verzehnfacht werden. Allerdings verursacht der stärkere Entwickler auch einen gewissen Dunkelabtrag, der bis zu einem bestimmten Maß tolerabel ist: Wenn man, z.B., 10 % der Schicht durch den Entwicklungsschritt verliert, kann das vorher berücksichtigt werden indem eine entsprechend dickere Resistschicht verwendet wird. Durch Entwickeln bei tieferen Temperaturen lässt sich der Dunkelabtrag zwar deutlich reduzieren, aber gleichzeitig vermindert sich auch wieder die Empfindlichkeit. Es läuft also auf eine Optimierung des Prozesses hinaus. Eine schonendere Entwicklung bei tieferen Temperaturen kann auch eine Kontraststeigerung bewirken und gleichzeitig zu einer geringeren Kantenrauigkeit beitragen.
Im Folgenden sind die Empfindlichkeiten und Auflösungen des AR-P 6200.04 bei 6 °C und 21 °C (Entwickler AR 600-546) dargestellt. Aufgrund des höheren Kontrastes bei 6 °C konnte eine maximale Auflösung von nur 6 nm erzielt werden. Die verwendeten Dosen sind in der Tabelle detailliert aufgelistet (z.B. #1 = 45 µC/cm²).
CSAR 62 Strukturen bei 6 °C, optimale Dosis 195 p C/cm
CSAR 62 Strukturen bei 21 °C, optimale Dosis 121 pC/cm
max. erreichte Auflösung von 6 nm bei 235 pC/cm bei 6 °C
Dosis-Werte der Entwicklungsversuche
Wie erste Resultate zeigen, kann die Empfindlichkeit deutlich gesteigert werden, wenn bei erhöhten Temperaturen entwickelt wird. Schichten vonCSAR 62 zeigen nach intensiver Bestrahlung mit UV-Licht, mit zunehmender Entwicklertemperatur, einen signifikanten Anstieg der Empfindlichkeit. Dabei bleibt der Dunkelabtrag selbst bei 40°C noch vernachlässigbar klein.
Entwicklung mit UV-Licht bestrahlterCSAR 62-Schichten mit AR 600-546: Einfluss der Temperatur
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