Resist des Monats Januar 2016: Electra 92 Produktionseinführung

Resist des Monats Januar 2016

Leitfähiger Lack Electra 92 in die Produktion eingeführt

Electra 92 hat die Feuertaufe bei den Anwendern gut bestanden. Immer mehr zufriedene Kunden geben ihr Feedback zu den exzellenten Eigenschaften des AR-PC 5090.02. Auch wurde eine zweite Modifikation, der AR-PC 5091, speziell für Novolak-basierte E-Beamresists entwickelt.

Wir haben die Eigenschaften des Electra 92 im Jahr 2015 weiter optimiert. Durch eine verbesserte und verlustarme Reinigung gelang die Erhöhung der Leitfähigkeit um den Faktor 10.

AR-PC5090_Leitfaehigkeit

Widerstandsmessungen der durch Schleuderbeschichtung erzeugten Schichten des AR-PC 5090

Im Dezember erfolgte der erste Großansatz in der Produktion. Ausbeute und Reinheitsgrad übertrafen unsere Erwartungen. Damit steht einer kontinuierlichen Herstellung von Electra 92 auch in großen Mengen nun nichts mehr im Wege.

Diese Erfolge sind für uns Anlass, den AR-PC 5090 und den AR-PC 5091 zu den Resists des Monats zu küren.

 

 

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