Resist des Monats Januar 2017: Optimierung des Negativ-Sprühresist AR-N 2200

Negativ-Sprühresist AR-N 2200 – Optimierung auf dem EVG®150 Spraycoater

Der Sprühresist AR-N 2220 ist der weltweit einzige einsatzfertige Negativlack. Damit entfällt das aufwändige und ungenaue Mischen eines Lackes mit Lösemitteln. In enger Kooperation mit der EV Group in Schärding wurde der AR-N 2220 auf dem Spraycoater EVG®150 optimiert. Im Ergebnis zeigte sich, dass die 150 µm tiefen Gruben sehr gut beschichtet wurden, insbesondere die sensiblen Kanten. Die Oberfläche war glatt, es gab keine Lackkügelchen. Der Negativresist hat zudem den Vorteil, dass unterschnittene Lackprofile (Bild 2) für Lift-off-Prozesse eingestellt werden können. EVG benutzt mittlerweile diesen Lack als Standardresist.

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Beschichtete und strukturierte Siliziumgruben

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Unterschnittenes Lackprofil für Lift-off-Prozesse

Diese guten Ergebnisse waren für uns Anlass, den Negativ-Sprühresist AR-N 2220 zum Resist des Monats Januar zu machen. Weitere Ergebnisse und Informationen stellen wir Ihnen gern zur Verfügung.

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