Durch eine Rezepturverbesserung der AR-P 3210-Serie wird es für Anwender einfacher, senkrechte Kanten seiner Strukturen bei einer hohen Maßhaltigkeit zu erzeugen. Die üblichen Anforderungen an Positiv-Dicklacke sind eine möglichst hohe Transparenz bei der Belichtungswellenlänge für eine gute Empfindlichkeit und ein geringer Abtrag der unbelichteten Flächen durch den alkalischen Entwickler.

Durch eine sorgfältige Abstimmung der eingesetzten Rohstoffe und unter Einhaltung des vorgegebenen Entwicklungsregimes können diese Anforderungen durch den SX AR-P 3210/22 erreicht werden. Muster für eigene Versuche stehen für unsere Kunden bereit.