Um Strukturen in Glas zu ätzen, ist bisher eine umständliche Technologie notwendig. Mit dem optimierten Zweilagen-System ist es möglich, diesen Prozess zu vereinfachen. Dabei wirkt der SX AR-PC 5000/40 allein als Schutzschicht. Die Schutzwirkung gegenüber der konzentrierten Flusssäure (48 %) beträgt bei einer Schichtdicke von 20 µm mindestens 4 Stunden, bei verdünnter Flussäure verlängert sich die Zeit auf über 10 Stunden.

Für die Strukturierung wurden sowohl der Negativresist AR-N 4400-10 als auch der Positivresist AR-P 3250 erfolgreich als Top-Layer eingesetzt. Neben der Flexibilität für den Anwender (negative oder positive Abbildung), ergab sich auch eine höhere Auflösung und leichtere Handhabbarkeit der Prozesse. Ausführlich sind die Ergebnisse in den neuesten AR NEWS (23. Ausgabe) dargestellt. Die wohl weltweite einzige Möglichkeit, Strukturen bei einer hochkonzentrierten Flusssäure-Ätzung mit Hilfe eines Resistsystems zu realisieren, veranlasste uns, den neuen SX AR-PC 5000/40 zum Resist des Monats Oktober zu machen.