Für das neue Projekt VEGAS werden Resiststrukturen (Säulen) einer Schichtdicke von 10 bis zu 60 µm benötigt. Diese Säulen sollten sich streng zylinderförmig herstellen oder sich ggf. auch konisch nach unten verengen lassen.

Um diese Variabilität zu erzielen, wurde das Trocknungsregime für die AR-N 4400 (CAR 44) optimiert. Senkrechte Flanken wurden durch eine mehrstufige Beschichtung erreicht. Eine vierfache Beschichtung von jeweils 10 µm mit einer Temperung nach jedem Schritt ergab eine Schichtdicke von 40 µm. Durch diese Art der Beschichtung wird die sonst übliche und störende Randwulst fast völlig vermieden. Die Entwicklungsgeschwindigkeit erwies sich über die gesamte Schichtdicke als konstant, damit resultierten senkrechte Strukturen. Durch eine gezielte Veränderung der Temperzeiten der einzelnen Teilbeschichtungen kann ein leichter Unterschnitt eingestellt werden. Dazu werden die unteren Schichten kürzer getrocknet.

Diese interessanten Ergebnisse war uns Anlass genug, den CAR 44 zum Resist des Monats zu machen.

40-µm-Strukturen mit optimierter Trocknung beim CAR 44