Allresist hat gemeinsam mit dem IDM e.V., Teltow ein neues Polymer auf Polyanilin-Basis entwickelt. In der 28. AR NEWS wurde der neue leitfähige Schutzlack SX AR-PC 5000/90.2 bereits vorgestellt. Unsere Optimierungsarbeiten nach den ersten Erfahrungsberichten der Anwender sind mittlerweile abgeschlossen, sodass wir nunmehr einen sehr guten leitfähigen Lack zur Ableitung von Aufladungen bei der E-Beam-Bestrahlung anbieten können.

Der Abschluss der Arbeiten an Electra 92, die den Anwendern neue Möglichkeiten der E-Beamlithographie eröffnet, bewogen uns, den SX AR-PC 5000/90.2 zum Resist des Monat Juli 2014 zu küren.

Abb. 1: 200nm Ti/Gold-Quadrate, Abstand 5µm auf 1mm dickem Glas